Zeer zuivere cryogene luchtscheidingseenheid voor elektronica

Een zeer zuivere cryogene luchtscheidingseenheid voor elektronica levert continu 99,999%+ stikstof, zuurstof of argon aan halfgeleiderfabrieken, LED-epitaxie en PV-cellijnen. Het apparaat werkt 24/7 zonder cycli. De onzuiverheden bij de uitlaat zijn doorgaans minder dan 1 ppm totale koolwaterstoffen en 0,5 ppm CO₂.

Procesbeschrijving

Omgevingslucht wordt gecomprimeerd, voor-gekoeld en door een zuiveringsinstallatie geleid die water, CO₂ en koolwaterstoffen verwijdert. De schone lucht komt vervolgens in een koelbox terecht met daarin twee destillatiekolommen. De bedrijfstemperatuur van de kolom ligt tussen -185 graden en -196 graden. Scheiding vindt plaats door herhaalde verdamping en condensatie op basis van kookpunten (N₂: -196 graden, O₂: -183 graden). Het productgas wordt onttrokken aan de bovenkant van de hogedrukkolom voor stikstof of uit de lagedrukkolom voor zuurstof en argon.

Typische prestatiegegevens

Waarden zijn afhankelijk van de omgevingstemperatuur ter plaatse, de omstandigheden van het koelwater en de uiteindelijke zuiverheidsvereiste. Bevestig met processimulatie.

Afweging tussen stroomverbruik en betrouwbaarheid-

Voor elke cryogene luchtscheidingseenheid met hoge zuiverheid voor elektronica is het specifieke energieverbruik de grootste bedrijfskosten. Het ontwerp maakt gebruik van een hoog-efficiënte turbo-expander en getrapte destillatiekolommen om het vermogen binnen het hierboven weergegeven bereik te houden.

Elektronicafabrieken hebben echter ook te maken met een hoog onderbrekingsrisico. Bij een storing in de gastoevoer kan een hele partij wafels worden gesloopt. Daarom raden we doorgaans aan een vloeistofopslagtank met verdamper of een standby-kolom toe te voegen. Dit verhoogt de kapitaalkosten, maar vermindert het risico op productieverlies. Veel klanten accepteren de hogere eerste kosten nadat ze hun eigen kosten voor downtime hebben berekend.

Technische specificaties

• Scheidingsmethode: Cryogene rectificatie
• Materiaal kolom: aluminiumlegering 5083 of 304/316L roestvrij staal
• Besturingssysteem: PLC (Siemens of Rockwell) of DCS met Modbus TCP/IP externe toegang
• Resterende koolwaterstof in het product: < 1 ppm
• CO₂ na zuivering: < 0,5 ppm
• Productdauwpunt: < -70 graden

Aanpassingsopties

Elke site heeft verschillende voorwaarden. Wij passen aan:

• Ontwerp voor hoge omgevingstemperatuur, vochtigheid of hoogte
• Zuiverheidsgraad (bijv. 99,9995% N₂ slechts - minder kolomtrappen, lager vermogen)
• Volledige afzuigconfiguratie (N₂ + O₂ + Ar gelijktijdig)
• Integratie van vloeistofback-upsysteem (tank + verdamper + automatische omschakeling)
• Container- of skid-gemonteerde lay-out voor ruimte-beperkte locaties

We hebben locatiegegevens nodig (omgevingsomstandigheden, vereiste stroom, zuiverheid, druk) voordat we een definitief ontwerp voorstellen.

Diensten en certificeringen

• Scope: Procesontwerp, fabricage, installatie op locatie, inbedrijfstelling, training van operators, voortdurende onderhoudsondersteuning
• Certificeringen: ISO 9001, ISO 14001, ASME of PED (indien vereist), Chinese drukvatlicentie
• Referenties: Beschikbaar onder geheimhoudingsverklaring. Er worden geen klantnamen gedeeld zonder toestemming.

Over Shenger-gas

Shenger Gas ontwerpt en bouwt de zeer zuivere cryogene luchtscheidingseenheid voor elektronica op basis van werkelijke omstandigheden ter plaatse, en niet op basis van- vooraf ingestelde brochures. Voor elk project voeren wij een volledige processimulatie uit. Winkelinspectie omvat een heliumlektest en controle van de koudeprestaties. Ter plaatse stellen wij de installatie in werking totdat het productgas gedurende 72 opeenvolgende uren aan de specificaties voldoet. Dat is onze overdrachtsnorm. Geen claims zonder gegevens.

Populaire tags: hoge zuiverheid cryogene luchtscheidingseenheid voor elektronica, China hoge zuiverheid cryogene luchtscheidingseenheid voor elektronicafabrikanten, leveranciers, fabriek